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Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB) Carl Zeiss SMT AG CrossBeam NVision 40 ®

Basic Information

Name: Field Emission Scanning Electron Microscope (FE SEM) with focused ion beam (REM/ FIB)
Manufacturer: Carl Zeiss SMT AG
Model: CrossBeam NVision 40 ®
Facility: Microelectronic Materials and Nanoanalysis
Partner: Fraunhofer Institute for Ceramic Technologies and Systems (IKTS)

Description

The NVision 40 CrossBeam ® is a field emission scanning electron microscope (FESEM) combined with a focused ion beam (FIB). It is a high performance instrument designed for microstructural sectioning, imaging and  analytical applications.

 

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Die Zweistrahl-Anlage NVision 40 (Carl Zeiss SMT AG) ermöglicht es,  in situ den Materialabtrag im Elektro- nenstrahlbild zu beobachten. Damit kann nicht nur zielgenau präpariert, sondern auch eine dreidimensionale artefaktfreie Fehlerdiagnostik vorge- nommen werden. Außerdem bietet das System die Möglichkeit, elektro- nenstrahltransparente Lamellen her- zustellen, welche im TEM bzw. auch direkt im Gerät mittels STEM-Detek- tor analysiert werden können. Damit ist die hochauflösende Darstellung von Gefügestrukturen bis in den Nanometerbereich realisierbar.

Auflösung (REM):  1.1 nm @ 20kV / 2.5 nm @ 1 kV

Auflösung (FIB):   ≤ 4nm @ 30kV
 

Measure/Resolution:

  • 2 nm

Accessory/Options:

  • Micromanipulator, EDX
  • FE-SEM & Ga-FIB
  • Gas assisted etch & deposition
  • Kleindiek Nanomanipulator

 

Points of Contact

Prof. Dr. Ehrenfried Zschech (Head of Department)
Phone:
+49 351 88815-543
Fax:
+49 351 88815-509

Notes

This is an instrument within the Dresden Fraunhofer Cluster Nanoanalysis (DFCNA).

Images

Last Update

Last updated at: 13 July 2017 at 11:54:12